該制造商的真空離子鍍膜技術(shù), 利用 KRI 考夫曼聚焦型射頻離子源 RFICP 380 轟擊靶材形成離子, 并使離子在強磁場的驅(qū)動下吸附于鉆頭或鑼刀上形成鍍層, 制備出鍍膜鉆頭及鍍膜銑刀.
用于濺射的 KRI 聚焦型射頻離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù):
portant;">
射頻離子源型號 |
portant;">
RFICP 380 |
portant;">
Discharge 陽極 |
portant;">
射頻 RFICP |
portant;">
離子束流 |
portant;">
>1500 mA |
portant;">
離子動能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
柵極直徑 |
portant;">
30 cm Φ |
portant;">
離子束 |
portant;">
聚焦 |
portant;">
流量 |
portant;">
15-50 sccm |
portant;">
通氣 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型壓力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
長度 |
portant;">
39 cm |
portant;">
直徑 |
portant;">
59 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
推薦理由:
聚焦型濺射離子源一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染
運行結(jié)果:
- 結(jié)果表面, 采用鍍膜鉆頭, 可以明顯增加鉆孔孔限, 減少披鋒, 節(jié)約成本;
- 采用鍍膜銑刀進行銑邊及成型加工時, 有利于減少產(chǎn)品的披鋒、毛刺及銑刀斷刀, 提高生產(chǎn)效率及節(jié)約成本
伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國HVA 真空閥門, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機, 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機等進口知名品牌的指定代理商.
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
[email protected] [email protected]
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!