蒸鍍是在真空狀態下, 將鍍料加熱蒸發或者升華, 使之在工件或基體表面沉積的工廠, 蒸鍍具有簡單便利、操作容易、沉積速率快等優點, 但存在膜基結合力不理想, 膜層不致密的缺點.

為了解決蒸鍍的缺點, 某國內精密儀器鍍膜制造商采用伯東 KRI 離子源進行輔助蒸鍍.

該制造商采用伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 380, 同時為了為鍍膜工業提供穩定的合適的真空環境, 伯東工程師為制造商搭配大抽速分子泵組 Hicube 700 Pro, 采用金屬密封, 極限真空度可達1x10-7hpa, 抽速可達 685 L/s, 很好保證成膜質量.

美國 KRI 射頻離子源 RFICP 380 特性:

1. 大面積射頻離子源

2. 提供高密度離子束, 滿足高工藝需求

3. 采用射頻技術產生離子, 無需電離燈絲, 工藝時間更長, 更適合時間長的工藝要求

4. 離子束流: >1500 mA

5. 離子動能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自動控制器, 一鍵自動匹配

8. RF Generator 可根據工藝自行選擇離子濃度, EX: 1kW or 2kW

9. 離子源采用模塊化設計, 方便清潔/ 保養/ 維修/ 安裝

10. 柵極材質鉬和石墨, 堅固耐用

11. 通入氣體可選 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

離子源輔助蒸鍍運行原理:

在蒸鍍時, 通過 KRI 離子源的作用, 使Ar原子離化成Ar+, 產生輝光放點現象, 離子在電場中將蒸發出來的Al原子離化成Ar+, 這些等離子體在電場的作用下對基體進行轟擊和鍍膜.

運行結果：

蒸鍍中由于離子輔助技術的注入, 改善了蒸鍍鋁膜的組織, 基膜結合力高、耐腐蝕性更好、提高了合金的微動疲勞抗力

上海伯東是美國考夫曼公司 KRI離子源的國內總代理商, 其中KRI 離子源主要型號有:

KRI 射頻離子源 RFICP 系列： RFICP 380、RFICP 220、RFICP 140 、RFICP 100、 RFICP 40

KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列： KDC 160、KDC 100、KDC 75、KDC 40、KDC 10

KRI 霍爾離子源 Gridless eH 系列:eH 3000、eH 2000、eH 1000、eH 400、eH Linear

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上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
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