美國(guó)考夫曼公司 KRI 霍爾離子源控制器已成功替換取代 Veeco Commonwealth 控制器, 完全不需更改任何鍍膜機(jī)計(jì)算機(jī)程序及相關(guān)設(shè)定即可直接運(yùn)做.

KRi (考夫曼) 霍爾源控制器有全自動(dòng)控制器 (Auto Co***oller), 燈絲控制器 (Filament Co***oller),陽(yáng)極控制器 (Discharge Co***oller), 運(yùn)作時(shí)選擇全自動(dòng)匹配 (Auto Gas), 半自動(dòng) (Manual Gas) 匹配及全手動(dòng)匹配 (Gas Only) 三種操作選項(xiàng). 在全自動(dòng)逼配模式自動(dòng)控制器依照客戶所設(shè)定之陽(yáng)極電流 (Vd) 及陽(yáng)極電壓 (ID) 自動(dòng)調(diào)整氣體以維持工藝所需要的離子束能量. 全自動(dòng)控制器可以記憶四組離子參數(shù), 工藝中更換參數(shù)組別時(shí)可以在離子束點(diǎn)火中直接切換參數(shù)組別, 不需重新熄火做點(diǎn)燃離子束, 以達(dá)到最穩(wěn)定的離子束狀態(tài).

實(shí)際案例:

1. 設(shè)備: 1.3 米鍍膜機(jī).
2. 基材: 塑料護(hù)目鏡.
3. 離子源條件: Vb:140V(離子束陽(yáng)極電壓), Ib:2.5A(離子束陽(yáng)極電流), O2 gas: 9sccm(氧氣).
4. 圖片:

上海伯東是美國(guó)考夫曼離子源 Kaufman & Robinson, Inc 中國(guó)總代理. 美國(guó) KRI 霍爾離子源全自動(dòng)匹配, 四組參數(shù)記憶, 可同時(shí)控制四種氣體流量的設(shè)計(jì), 絕對(duì)可以提供更方便的操做及獲得更穩(wěn)定的離子束.可以完全替換 Veeco, Commonwealth, 國(guó)產(chǎn)霍爾離子源控制器.

KRI 霍爾離子源控制器 (End Hall Co***oller) 型號(hào): 全自動(dòng)控器 (Auto co***oller), 燈絲控制器(Filament Co***oller), 陽(yáng)極控制器 (Discharge Co***oller)

上海伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計(jì), 美國(guó) KRI 考夫曼離子源, 美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī), 美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

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