為了提高薄膜的品質(zhì)，鍍膜制造商一般會采用離子源進(jìn)行輔助鍍膜, 如下圖

隨著對鍍膜品質(zhì)要求的不斷提升, 使用霍爾離子源輔助鍍膜已經(jīng)無法滿足高端鍍膜應(yīng)用市場, 國內(nèi)某知名 LED 制造商經(jīng)過我司推薦采用射頻離子源 RFICP 325 安裝在 DBR 生產(chǎn)設(shè)備 1650 mm 蒸鍍機(jī)中. 成功實(shí)現(xiàn)高端光學(xué)鏡頭鍍膜并通過脫膜測試!

上海伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 325客戶案例: 國內(nèi)某知名 LED 制造商
1. 離子源應(yīng)用: LED-DBR 鍍膜生產(chǎn).
2. 系統(tǒng)功能: 1650 mm 尺寸電子*****蒸鍍鍍膜機(jī).
3. 離子源: 采用美國 KRI 射頻離子源 RFICP 325. 離子源 RFICP 325 提供的離子束 (不論是離子能量還是離子密度) 均是目前業(yè)界較高等級, 離子源 RFICP 325 特殊的柵極設(shè)計 E22 Grided 可以涵蓋 1650 mm 尺寸的蒸鍍機(jī)中大范圍的載具 substrate holder, 無論是生產(chǎn)良率或是均勻性都可達(dá)到最高生產(chǎn)效能.
4. 離子源功能: 通過射頻離子源 RFICP 325 實(shí)現(xiàn)離子輔助鍍膜 IBAD 及預(yù)清潔 Pre-clean 功能后, 所生產(chǎn)出的 LED-DBR 無論是亮度測試, 脫膜測試, 頂針測試, 光學(xué)特性等等… 都優(yōu)于目前一般業(yè)界蒸鍍機(jī)所搭配的離子源.

上海伯東射頻離子源安裝案例: KRI RFICP 325 射頻離子源安裝于 1650 mm 尺寸電子*****蒸鍍鍍膜機(jī).



KRI 射頻離子源測試案例: LED-DBR 脫膜測試.
1. 在高倍顯微鏡下檢視脫膜測試


2. 測試結(jié)果

--------- 使用其他品牌離子源---     --------------------- 使用美國考夫曼 KRI RFICP 325 離子源 ----------------------

從上圖可以清楚看出, 使用其他品牌離子源, 樣品存在崩邊的問題; 使用上海伯東美國考夫曼離子源, 樣品無崩邊

伯東是德國 Pfeiffer 真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國 KRI 考夫曼離子源, 美國 inTEST 高低溫沖擊測試機(jī), 美國 Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

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