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KRI考夫曼射頻離子源RFICP220濺射制備堵片傳感器薄膜

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  為了使堵片傳感器的靈敏度分辨率、測(cè)量范圍小、測(cè)量精度等得到提高可實(shí)現(xiàn)對(duì)堵片打開(kāi)信號(hào)的可靠、穩(wěn)定測(cè)量滿足航天飛行器發(fā)動(dòng)機(jī)控制系統(tǒng)信號(hào)測(cè)試需要某堵片傳感器制造商采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFCIP220 濺射制備堵片傳感器薄膜.

 

伯東 KRI 射頻離子源 RFICP220 技術(shù)參數(shù):

portant;">

離子源型號(hào)

portant;">

RFICP220

portant;">

Discharge

portant;">

RFICP 射頻

portant;">

離子束流

portant;">

>800 mA

portant;">

離子動(dòng)能

portant;">

100-1200 V

portant;">

柵極直徑

portant;">

20 cm Φ

portant;">

離子束

portant;">

聚焦,  平行,  散射

portant;">

流量

portant;">

10-40 sccm

portant;">

通氣

portant;">

Ar,  Kr,  Xe,  O2,  N2,  H2,  其他

portant;">

典型壓力

portant;">

< 0.5m Torr

portant;">

長(zhǎng)度

portant;">

30 cm

portant;">

直徑

portant;">

41 cm

portant;">

中和器

portant;">

LFN 2000

可選燈絲中和器可變長(zhǎng)度的增量

KRI 射頻離子源 RFICP 220

 

KRI 離子源的獨(dú)特功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性而這些特性在不使用 KRI 離子源技術(shù)的情況下是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的.

 

KRI 離子源是領(lǐng)域公認(rèn)的領(lǐng)導(dǎo)者已獲得許多專利. KRI 離子源已應(yīng)用于許多已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過(guò)程中.

 

伯東是德國(guó) Pfeiffer 真空泵,  檢漏儀,  質(zhì)譜儀,  真空計(jì),  美國(guó) KRI 考夫曼離子源,  美國(guó)HVA 真空閥門,  美國(guó) inTEST 高低溫沖擊測(cè)試機(jī),  美國(guó) Ambrell 感應(yīng)加熱設(shè)備和日本 NS 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知名品牌的指定代理商.

 

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上海伯東羅先生                               臺(tái)灣伯東王女士
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