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砂輪參數對SiC減薄工藝的影響

0引言SiC器件正面工藝完成后,需要用到減薄工藝對襯底進行減薄加工,降低器件的導通電阻。尤其對于600-1200V的中低壓SiC器件,襯底電阻帶來的損耗影響了SiC器件...

日期 2024-05-30   
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