本電子級清潔管控系統(tǒng)可以對各類液體的顆粒度、清潔度、污染物進行管理、控制、監(jiān)測和分析；設備及零部件沖洗顆粒污染物的管控及測試，純凈溶液和電子級用水中不溶性微粒的管控及測試，電子化學品中顆粒物控制及中小試評價。

本方案涵蓋控制系統(tǒng)、清潔系統(tǒng)、動力系統(tǒng)和監(jiān)測系統(tǒng)等單元，利用動力系統(tǒng)單元將所需清潔物質(zhì)通過清潔系統(tǒng)單元進行循環(huán)清潔處理，利用監(jiān)控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，進行相關的調(diào)整并循環(huán)自凈，最終達到相關標準要求。

本系統(tǒng)采用英國普洛帝“光阻測量顆粒”和“精密微納米顆粒管控”兩項技術，可根據(jù)用戶的要求，內(nèi)置用戶所需多種管控工藝，實現(xiàn)多粒徑大小及數(shù)量的管控和檢測。

經(jīng)典第八代最新應用軟件系統(tǒng)平臺，集結初濾、精濾、終濾、清洗、檢測、報警、校準和標定各模塊可實現(xiàn)方便的全自動化設定和操作，內(nèi)置判定標準、檢測曲線、模塊調(diào)試和聲光報警等。

與業(yè)內(nèi)領先的智能系統(tǒng)公司合作，選擇其優(yōu)秀的智能監(jiān)控軍工級技術型工控機，系統(tǒng)穩(wěn)定，性能穩(wěn)卓越。

具有標準串行RS232口或RS485口、LAN口、USB口等，可外接普洛帝智能工廠等自動化管理系統(tǒng)。

可按英標、美標、日標、中標等標準進行標定、校準。

提供校準物質(zhì)（GBW），協(xié)助客戶每年一次的校準計量工作。

提供行業(yè)獨有的“OIL17服務星” 簽約式服務，365天無憂使用。

執(zhí)行標準：

GB/T 11446.1-2013 電子級水

GBT 11446.3-2013 電子級水測試方法通則

GB/T 11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法

SJ/T 11638-2016 電子化學品中顆粒的測試方法

GBT 29024.2-2016 粒度分析 單顆粒的光學測量方法 第2部分：液體顆粒計數(shù)器光散射法

ISO 21501-2-2007 Determination of particle size distribution - Single particle light interaction methods - Part 2: Light scattering liquid-borne particle counter

ISO 14644-9-2012 Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

ISO 14644-10-2014 Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10. Classification of surface cleanliness by chemical concentration

JIS K0554-1995  高純度水中微粒子濃度的檢測方法

JIS B9925-2010 光散亂式液中粒子計數(shù)器－校正方法及び検証方法

技術參數(shù)：

訂制要求：各類液體檢測要求；

傳 感 器：第八代雙激光窄光檢測器（精確、穩(wěn)定、迅速）；

測試軟件：CCACS2.0分析測試軟件集成版；

控制方式：集成式工控機控制或工業(yè)PC 控制；

檢測方式：中國國標、電子行業(yè)標準、半導體行業(yè)標準、日本標準、美國標準、ISO標準；

測試標定：CN-PSL乳膠球計量、CN-ISO標定計量、CN-NIST標定計量；

操作方式：彩色液晶觸摸屏或鍵盤鼠標操作；

管控精度：0.05、0.1、0.2、0.3、0.5、0.7、.08、1μm，2μm，3μm，5μm，10μm；

管控檢測：0.05~10μm（根據(jù)要求和傳感器）；

管控通道：1000 個，可任意4、6、8、16、32、64、128個尺寸范圍顆粒計數(shù)值；

管控流速：5mL/min～1500mL/min；

流速精度：<±1%；

管控體積：100mL~100L；

測試粘度：離線0~99厘斯；加壓可達500厘斯；

流體溫度：0℃～80℃；

環(huán)境溫度：-15℃～50℃；

接口方式：RS232或R485轉(zhuǎn)USB或USB接口 ；可定制尺寸；

模擬輸出：4mA～20mA；串口協(xié)議；MODBUS協(xié)議；     

報告方法：顆粒數(shù)/ml及等級；

輸入電壓：100V～265V,50Hz～60Hz；

售后服務：普洛帝中國服務中心/軍計測。

鑒定機構：西安中特計量檢測研究院

售后服務：普洛帝服務中心