天津中環電爐股份有限公司
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產品應用：

該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動爐體實現快速降溫。應用于半導體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、

快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗

產品特點：

可在真空/氣氛/空氣等不同環境下通過快速移動爐體，加之強風冷設計，可對樣品進行快速升降溫處理；管內測溫設計，

溫控精度高,最大升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設計，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。