最早的碳化硅冶煉爐是艾奇遜于1893年發明的。它是一個耐火磚砌成的長方形容器，里面裝有硅砂，焦炭，食鹽配成的爐料，兩根炭素電極插入爐中。炭質材料爐芯裝在兩極之間，發電機接在電極上，大電流通過爐芯產生高溫，爐芯周圍爐料即進行化學反應生成碳化硅，經冷卻取出產品。
　　 現代工業碳化硅冶煉爐，都有屬于艾奇遜型爐，只是爐型大小不同而已。根據功率大小可分為小型，中型，大型及特大型四種，大部分劃分：功率不足1200kW稱小型爐，1500~2500kW稱中型爐，2600~5000kW稱大型爐，5000kW以上稱特大型爐。
　　冶煉碳化硅的電阻爐，從結構形式上可分為固定爐和活動爐兩種。此外還有U型爐和山型爐。
　　一． 固定爐
　　固定爐是內外采用最多的一種爐型。其特點是建在地面上不能移動。它與變壓器配合有兩種型式，一種是爐與變壓器都固定，另一種是爐固定，變壓器活動。不論那種形式，每臺變壓器均需配4~6臺爐。
　　二． 活動爐
　　把爐建在平板車上，根據工藝流程需要進行移動，因此叫活動爐。
　　三． U型爐
　　U型爐是把爐芯布置成U字形的固定爐，開發于20世紀70年代。一個實例的爐長36m，高6.5m，變壓器容量15000kVA,每臺變壓器配4臺爐。
　　四． 山型爐
　　這是一種露天設置的固定爐，設有端墻和側墻，外貌是一座小山一樣的料堆，故稱山型爐。
　　五． 固定爐與活動爐比較
　　固定爐與活動爐各有所長，可根據實際情況進行選擇。現將各自特點列于表2-3-1。
　　表2-3-1 固定爐與活動爐比較
　　爐型 特點
　　固定爐固定變壓器 (1) 與活動爐相比，固定爐造價低，建設周期短。投資回收期短。(2) 沒有像活動爐那樣的車樣部分，故維修費用低。(3) 固定爐易于管理。它的爐位固定不變，所以每天作業不需要移動爐子。(4) 占地面積小，不需要調車場和冷卻場。(5) 作業環境差，溫度高，粉塵大，一氧化碳中毒可能性大。(6) 短網較長，銅(鋁)用量大，線路損耗大。
　　固定爐活動變壓器 與固定爐固定變壓器比(1) 短網距離短，銅(鋁)材料費用低。(2) 短網上電能損耗較少。(3) 各爐短網長度相等，功率因數高且穩定(4) 爐的切換時間長，增加了移動變壓器時間。(5) 變壓器室建筑面積大，增加了投資。
　　活動爐 (1) 各種作業安排在特定的爐位上，實現了各爐位作業的單一化，所以機械程度較高。同時便于采取勞動保護，環境保護措施。(2) 把冶煉高溫和有毒氣體與其他作業隔開，勞動條件改善。(3) 短網長度小，節約銅(鋁)材料，節約電能(4) 造價高投資大，投資回收期長(5) 設備折舊大修，維修費用大，更新周期大