超精密平面磨床主要是利用砂輪對工件進行旋轉磨削，以達到要求的平面度。按工作臺的形狀可分為矩形工作臺和圓形工作臺。矩形工作臺平面磨床的主要參數是工作臺的寬度和長度，圓形工作臺平面磨床的主要參數是工作臺的直徑。在具體的操作過程中，每個結構都要格外注意。
 
　　1、平面磨床定位規則
　　
　　機床應該放在哪里，如何安裝，據了解，運動空間外應預留300mm以上。各地腳螺絲要擰緊，臺面的前后左右水平度應在0.04/1000mm以內。
　　
　　2、平面磨床砂輪的選擇
　　
　　選用的砂輪必須能承受2000m/min以上的圓周轉速，因為轉速太低容易劃痕，轉速太高，磨削的價格輪子會高很多。另外需要注意的是，嚴禁使用損壞的砂輪。如果條件允許，安裝新砂輪后必須對法蘭進行平衡。
　　
　　3、對于超精密平面磨床的主軸，安裝前請確保主軸順時針旋轉。
　　
　　4、平面磨床液壓裝置
　　
　　平面磨床使用粘度為46的液壓油。新機的液壓油使用三個月后需要更換，以后每年更換一次，油箱必須在使用時清洗干凈。
　　
　　5、平面磨床的潤滑裝置
　　
　　潤滑油采用粘度為32的導軌潤滑油。每天確認油箱（池）油量，確保在離線油位以上。每周檢查導軌油路是否暢通，防止導軌漏油。建議每三個月清洗一次油箱。應按要求定期加注潤滑脂。
　　
　　6、超精密平面磨床左右機構
　　
　　禁止在工作臺移動時調整左右行程。工作臺鋼索松動時，應立即調整。
　　
　　7、平面磨床沖洗除塵裝置
　　
　　真空箱濾網的清潔保養應每兩周進行一次。另一個是冷卻液的檢查。一般當冷卻液受到污染時，應及時檢查并清除。