2011年5月26日加利福尼亞州圣何塞和澳大利亞布里斯班消息電/明通新聞專線/--SPP Process Technology Systems(PTS)和澳大利亞格里菲斯大學簽署聯合開發(fā)協(xié)議，共同開發(fā)硅上碳化硅技術。

為期三年的合作協(xié)議旨在商業(yè)化硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術，為LED、功率器件和MEMS器件增添可行的半導體材料。

面向半導體和相關行業(yè)提供等離子刻蝕、沉積和熱處理設備的領先制造商SPP Process Technology Systems (SPTS) 與澳大利亞格里菲斯大學今天宣布簽署了一項致力于硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術商業(yè)化的聯合開發(fā)協(xié)議(JDA)。硅上碳化硅襯底在迅速發(fā)展的發(fā)光二極管(LED)、微電機系統(tǒng)(MEMS)和功率器件市場有廣泛的用途。

碳化硅是生長制造LED所用的GaN薄膜的重要襯底。碳化硅具有更好的抗輻射能力、機械強度和熱特性，因此也成為MEMS器件所使用的硅的替代材料，使之更適合惡劣環(huán)境。此外，碳化硅還被用于生產針對大功率、高頻率應用的半導體器件，在這方面碳化硅的電特性顯著優(yōu)于普通硅。格里菲斯大學昆士蘭微米和納米技術中心(QMNC)下屬的昆士蘭微技術研究所(QMF)開發(fā)的新技術已經證明能夠直接在低成本硅晶圓上生長結晶碳化硅。通過這項聯合開發(fā)協(xié)議，SPTS將負責為這項技術的商業(yè)化開發(fā)熱處理和設備技術。

硅上碳化硅器件所需的三項關鍵技術是：碳化硅淀積、蝕刻和氧化。QMNC在所有這些領域進行了面向商業(yè)化的研究。QMNC的運營總監(jiān)Alan Iacopi表示：“聯合開發(fā)協(xié)議有助于把碳化硅淀積工藝技術轉化為器件研究和開發(fā)活動，并通過對最大300毫米直徑硅晶圓的成批加工為批量生產提供途徑。SPTS在熱處理上的實力使他們成為有吸引力的合作伙伴。” QMNC項目負責人、副主任Sima Dimitrijev同意這個觀點，他表示：“聯合開發(fā)協(xié)議是我們碳化硅研究成果商業(yè)化的重要一步，特別是與SPTS這樣有著全球影響力的合作伙伴合作。”

SPTS總裁兼首席執(zhí)行官William Johnson表示：“作為向MEMS、LED和功率器件市場提供固定設備的市場領先者，SPTS始終關注前沿開發(fā)機會。我們很高興有機會與格里菲斯大學的優(yōu)秀研究人員合作，商業(yè)化硅上碳化硅技術。為這一合作提供生產技術，幫助開發(fā)和提供新材料加工技術，這是我們的一個重要的企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略。聯合開發(fā)協(xié)議將進一步增強我們所服務市場的產品組合，將有助于擴大我們的客戶群。”

關于SPP Process Technology Systems

SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收購的Aviza Technology資產合并而成。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全資子公司，面向全球半導體行業(yè)和相關市場設計、制造、銷售和支持高級半導體資本設備和工藝技術。這些產品廣泛應用于各類細分市場，包括研發(fā)、數據存儲、MEMS與納米技術、先進3D封裝、LED及通信電源集成電路。

關于QMNC 和QMF

昆士蘭微米和納米技術中心(The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre)是格里菲斯大學的一個科學工程研究中心，重點研究開發(fā)智能凈化系統(tǒng)所必須解決的微米和納米技術問題。中心擁有材料開發(fā)、傳感、微電子工程與微米技術以及凝聚態(tài)基本理論專業(yè)人才，涉及物理、化學、應用數學和工程等學科。昆士蘭微米技術研究所(The Queensland Microtechnology Facility)隸屬于QMNC，致力于實現硅上碳化硅技術的商業(yè)化。它是昆士蘭州政府和澳大利亞國家制造研究所(National Fabrication Facility)出資建立的，擁有大型硅晶圓加工處理能力，支持用于機械和半導體器件的硅上碳化硅材料的開發(fā)。