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IBM開發(fā)出首款基于SiC晶圓的石墨烯集成電路

關(guān)鍵詞 碳化硅 , 石墨烯|2011-06-13 16:19:41|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 IBM研究中心公開了首款通過晶圓尺寸石墨烯制造出的集成電路,并展示了頻率高達(dá)10GHz的寬帶混頻器。這款模擬集成電路有一個(gè)石墨烯晶體管和一對整合在碳化硅晶圓上的電感器構(gòu)成,以無線通...

  IBM研究中心公開了首款通過晶圓尺寸石墨烯制造出的集成電路,并展示了頻率高達(dá)10GHz的寬帶混頻器。
  這款模擬集成電路有一個(gè)石墨烯晶體管和一對整合在碳化硅晶圓上的電感器構(gòu)成,以無線通信應(yīng)用為目標(biāo)。
  該集成電路像寬帶混頻器一樣工作,混合(和或差)輸入信號(hào)后產(chǎn)生輸出信號(hào)。混頻器是很多電子通信系統(tǒng)的基礎(chǔ)元器件。研究人員表示該石墨烯集成電路混頻最多可以達(dá)到10GHz并且熱穩(wěn)定性非常好,可以承受125攝氏度的高溫。
  IBM研究團(tuán)隊(duì)表示碳化硅晶圓所取得的進(jìn)展實(shí)現(xiàn)了晶圓尺寸的石墨烯生產(chǎn)流程,克服了設(shè)計(jì)限制,在保持石墨烯質(zhì)量的同時(shí)能夠?qū)⑺鼈兗蛇M(jìn)復(fù)雜的電路。
  “很多納米技術(shù)突破集中在解決傳統(tǒng)硅處理器的短期缺陷上,而這次創(chuàng)新的研究對于克服設(shè)計(jì)障礙來說是一次里程碑。它通過新材料帶來硅半導(dǎo)體所無法提供的獨(dú)特功能”,IBM研究中心的一位研究人員如此說道。
  研究人員通過對碳化硅晶圓進(jìn)行熱退火在碳化硅表面形成均勻的石墨烯層,以此合成石墨烯。石墨烯電路的生產(chǎn)需要通過四層金屬和兩層氧化物組成頂柵結(jié)構(gòu)的石墨烯晶體管、片上電感器和互連。
  IBM研究中心開發(fā)的這種生產(chǎn)方案也可以用于其它類型的石墨烯材料,包括將化學(xué)氣相淀積(CVD)石墨烯膜合成在金屬膜之上、也可用于光學(xué)光刻以改善成本和產(chǎn)能。
  該研究組此前曾展示過獨(dú)立的石墨烯晶體管,外延石墨烯和化學(xué)氣相沉積石墨烯的截止頻率分別高達(dá)100GHz和155GHz,特征尺寸(柵極長度)分別為240nm和40nm。
  新石墨烯集成電路的突破正值IBM開始科學(xué)探索的100周年,這是IBM的一個(gè)主要里程碑也是DARPA贊助的碳電子射頻應(yīng)用(CERA)項(xiàng)目的一次突破。
  
    
  來源:電子工程專輯
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