申請號：201310071571.X

       申請人：天津市乾宇超硬科技有限公司

       摘要：本發明提供制備多種粒度的用于晶體加工的水基金剛石拋光液的方法，該拋光液適宜拋光多種晶體。使用高剪切乳化機，該設備的攪拌工作頭直徑不低于56mm，最高轉速不低于15000rpm；使用黏度調節劑，制成不同黏度的拋光液以滿足諸多用戶的不同需求。本發明產品具有拋光、潤滑、冷卻、除屑等功能。它的成分：水、金剛石、潤濕劑、表面活性劑、黏度調節劑、防銹劑、潤滑劑、消泡劑、防腐殺菌劑和pH調節劑。用1um單晶金剛石拋光液拋光SiC晶體，拋光效率達0.08um/min，其表面粗糙度Ra由80nm經拋光后降至0.91nm；用0.125um多晶納米金剛石拋光液拋光SiC晶體其表面粗糙度Ra可達0.1～0.3nm。

       主權利要求：

       1.用于晶體加工的水基金剛石拋光液的制造方法，其特征在于：(1)它的組成成分：水85～98％，金剛石0.1～10％，潤濕劑0.2～3％，表面活性劑0.1～5％，黏度調節劑0.01～5％，防銹劑0～1％，潤滑劑1～8％，消泡劑0.0005～0.1％，防腐殺菌劑0.02～1％，pH調節劑逐滴加入，不計入總量；(2)成分中的金剛石包括：用靜壓觸媒法制造的亞毫米級金剛石經破碎、整形、粒度分級和提純凈化后獲得的微米級和亞微米級單晶金剛石微粉；用爆轟法(負氧平衡法)制造的單晶納米金剛石；以及用爆炸法制造的多晶納米金剛石；(3)制造工藝中使用：高剪切乳化機，該設備的攪拌工作頭直徑不低于56mm，最高轉速不低于15000rpm。它可使金剛石顆粒之間的軟團聚充分分散，使多種試劑混合均勻，并使金剛石顆粒均勻地分散穩定地懸浮在液體中，轉速控制在10000～15000rpm，處理時間10～60min。

       2.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：使用黏度調節劑，制成不同黏度的拋 光液以滿足諸多用戶的不同需求，所述的黏度調節劑是指下列試劑中的一種或多種混合：硅 酸鎂鋁、膨潤土、凹凸棒土、蒙脫土、黃原膠、卡拉膠、阿拉伯膠、羧甲基纖維素鈉、聚丙 烯酸鈉。 

       3.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的潤濕劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：去離子水、乙二醇、聚乙二醇、丙三醇。 

       4.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的表面活性劑是指下列試劑中的 一種或多種混合：聚乙二醇、六偏磷酸鈉、十二烷基苯磺酸鈉、丙三醇、1-縮二乙二醇、三 乙醇胺。 

       5.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的pH調節劑是指下列試劑中的一 種或多種混合：氫氧化鉀、氫氧化鈉、碳酸鈉、三乙醇胺、六偏磷酸鈉、氨水、磷酸、硝酸、 氫氟酸。 

       6.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的防銹劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：三乙醇胺、乙醇胺硼酸鹽、重鉻酸鉀、苯丙三氮唑、碳酸鈉、亞硝酸鈉。 

       7.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的潤滑劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：乙二醇、聚乙二醇、脂肪皂酸、丙三醇。 

       8.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的消泡劑是指下列試劑中的一種 或多種混合：乙醇、辛醇、聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、高碳醇脂肪酸酯復合物DSA-5、油酸、 乳化二甲基硅油。 

       9.根據權利要求1所述的制造方法，其特征在于：所述的防腐殺菌劑是指下列試劑中的一 種或多種混合：脫氫醋酸鈉、過氧化氫、2-苯基苯酚鈉鹽、對羥基苯甲酸乙酯鈉、戊二醛、 山梨酸鉀、苯甲酸鈉、亞硝酸鈉、次氯酸鈣。