摘要 位于美國加利福亞州桑尼維爾的IntegratedMaterials,Inc.公司擁有SiFusion?專利技術(shù),IntegratedMaterials獨特的SiFusion?多晶硅...
位于美國加利福亞州桑尼維爾的Integrated Materials, Inc.公司擁有SiFusion?專利技術(shù),Integrated Materials獨特的SiFusion?多晶硅爐系列能夠減少LPCVD中的粒子數(shù)、痕量金屬污染物和高溫工藝中的錯誤,從而超越了傳統(tǒng)的石英和碳化硅材料。SiFusion?爐通過大幅減少例行清洗次數(shù),提高了生產(chǎn)效率,降低了成本。 來源:鋸工業(yè)網(wǎng)