碳化硅制造過程產生粉塵的作業點較多。粉塵最大的作業點是冶煉干法扒料，分級等。
　　 制粒車間空氣中懸浮的粉塵粒度大致如下：5μm以下粒子占66.6%~92.5%，10μm以上占4.8%~22%。粉塵中SiC占95%以上，SiO2含量為0.35%~3.58%。對碳化硅車間進行技術改造。焦炭加工及制粒工序取密閉除塵方法，裝爐工序采取濕料作業方法，獲得了極付款效果（表2-11-5）
　　
　　表2-11-5 碳化硅車間粉塵濃度典型數據（mg/m3）
　　作業點 焦炭加工 裝爐 結晶塊分級 制粒
　　技術改造前 240 290 － 138~600
　　技術改造后 10 12.83 76.1 3.5~17
　　
　　 碳化硅粉塵符合TJ36－79中“其他粉塵”條件，即游離二氧化硅含量在10%以下，因此濃度標準可定為10mg/m3。
　　
　　表2-11-6 車間空氣中生產性粉塵最高容許濃度（TJ36－79）
　　有害物名稱 最高容許濃度（mg/m3）
　　含有10%以上游離二氧化硅的粉塵（石英，石英巖等）① 2.0`
　　石棉粉塵及含有10%以上石棉的粉塵 2.0
　　含有10%以下的游離二氧化硅的滑石粉塵 4.0
　　玻璃棉及礦渣棉粉塵 5.0
　　含有10%以下游離二氧化硅的水泥粉塵 6.0
　　煙草及茶葉粉塵 3.0
　　含有10%以下游離二氧化硅的煤塵 10
　　其他粉塵② 10
　　鋁，氧化鋁，鋁合金粉塵 4.0
　　表：①含有80%以上游離二氧化硅的生產性粉塵，宜不超過1 mg/m3。
　　②其他粉塵系指游離二氧化硅含量在10%以下，不含有毒物質的礦物性和動植物性粉塵。
　　
　　 《工業“三廢”排放試行標準》GBJ4－73的13類有害物質排放標準中規定，第二類生產性粉塵排放濃度為150 mg/m3。碳化硅制造過程的粉塵排放標準一般按此考慮。