以5G基建為首的中國(guó)七大“新基建”,是經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇和發(fā)展的重要生產(chǎn)力,是產(chǎn)業(yè)變革的核心。站在新基建政策紅利的“風(fēng)口”,本屆國(guó)際碳材料大會(huì)——金剛石論壇重點(diǎn)聚焦在導(dǎo)熱散熱、培育鉆石、半導(dǎo)體器件、超精密加工等領(lǐng)域,探討在新形勢(shì)下,金剛石如何立足當(dāng)下,與時(shí)俱進(jìn);如何抓住機(jī)遇,迎接挑戰(zhàn);如何突破難點(diǎn),把握未來(lái)。
2020年11月18日,由DT新材料、中國(guó)超硬材料網(wǎng)聯(lián)合主辦的第五屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)——金剛石論壇在上海成功舉辦。本屆論壇以“金剛石半導(dǎo)體及高導(dǎo)熱功能應(yīng)用”、“金剛石創(chuàng)新應(yīng)用”、“培育鉆石”為話題,舉行近三十場(chǎng)技術(shù)報(bào)告,來(lái)自全國(guó)各地的院士大咖、專家學(xué)者、企業(yè)代表分享研究成果,全方位、多層次深入探討金剛石在5G新基建、半導(dǎo)體、電子器件、超精密加工、培育鉆石等領(lǐng)域的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì),推動(dòng)5G新基建下金剛石產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。
中國(guó)科學(xué)院鄒廣田院士、中國(guó)超硬材料網(wǎng)總經(jīng)理石超先生、上海昌潤(rùn)極銳超硬材料有限公司高級(jí)顧問(wèn)方嘯虎、寧波材料所研究員江南、中科院理化所研究員只金芳、中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)超硬材料專委會(huì)主任委員呂智等嘉賓出席本次大會(huì)。
上午九點(diǎn),中國(guó)科學(xué)院鄒廣田院士、中國(guó)超硬材料網(wǎng)總經(jīng)理石超先生先后致辭。鄒院士在致辭中講到,半個(gè)多世紀(jì)以來(lái),中國(guó)金剛石產(chǎn)業(yè)從無(wú)到有、從小到大、從弱到強(qiáng),是幾代人共同努力的結(jié)果,是來(lái)之不易的。值碳材料大會(huì)金剛石論壇開始之際,希望在座的專家學(xué)者、企業(yè)代表們能沉下來(lái)心刻苦鉆研、加大技術(shù)創(chuàng)新投入、積極擁抱金剛石功能應(yīng)用、堅(jiān)持走高質(zhì)量發(fā)展路線。
最后鄒院士用“一顆恒久遠(yuǎn) 萬(wàn)世永流傳” 的鉆石精神激勵(lì)在場(chǎng)的嘉賓學(xué)者、企業(yè)代表們?yōu)槲覈?guó)成為超硬材料強(qiáng)國(guó)而貢獻(xiàn)自己的一份力量。
石總在致辭中講到,2020年,一切充滿不容易!特殊的年份里,我們大家相聚上海,共同開啟第五屆國(guó)際碳材料大會(huì)金剛石論壇。今年年底的相聚,格外有意義,同一個(gè)目標(biāo),共同的信念,共同打造碳材料新天地!由DT新材料、中國(guó)超硬材料網(wǎng)聯(lián)合主辦的國(guó)際碳材料大會(huì)金剛石論壇為促進(jìn)世界各地金剛石產(chǎn)業(yè)的互動(dòng)合作,提供了一個(gè)重要平臺(tái)、一個(gè)綠色通道、一條緊密紐帶。
創(chuàng)新是推動(dòng)發(fā)展永恒的動(dòng)力,如何打破原有格局?如何不斷突破技術(shù)應(yīng)用難點(diǎn)?如何與時(shí)俱進(jìn),創(chuàng)新發(fā)展?這是對(duì)金剛石行業(yè),每一個(gè)人的深度拷問(wèn)!中國(guó)芯問(wèn)題,一直被視為卡脖子事件!而金剛石被譽(yù)為終極半導(dǎo)體,但始終處于實(shí)驗(yàn)室研究階段,產(chǎn)業(yè)化道路,任重而道遠(yuǎn)!今年的金剛石論壇關(guān)注產(chǎn)業(yè)最前沿!從納米金剛石到大單晶,從半導(dǎo)體到量子領(lǐng)域,無(wú)一不是創(chuàng)新!希望大家以本屆論壇為契機(jī),進(jìn)一步加深了解、增進(jìn)交流,共謀合作發(fā)展,開始今年的思維碰撞!
中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司教授級(jí)高工、中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)超硬材料專委會(huì)主任委員呂智、武漢工程大學(xué) 汪建華教授、中電十二所李莉莉高級(jí)工程師、北京科技大學(xué)魏俊俊副教授分別主持會(huì)議。
在哈爾濱工業(yè)大學(xué)科學(xué)技術(shù)研究院院長(zhǎng)朱嘉琦教授的《金剛石單晶生長(zhǎng)及其器件技術(shù)》報(bào)告下,一場(chǎng)金剛石行業(yè)年度盛宴正式啟幕!朱嘉琦教授在報(bào)告提到:“大、純、優(yōu)”是金剛石晶體生長(zhǎng)發(fā)展方向。“大”即大于四英寸(100mm)、厚度大于1mm的單晶金剛石;“純”就是要獲得超高純度的單晶金剛石,雜質(zhì)濃度為電子級(jí)(小于10ppd);“優(yōu)”就是要低缺陷密度的優(yōu)質(zhì)單晶金剛石(缺陷密度小于104/c㎡)。金剛石被譽(yù)為“終極半導(dǎo)體”,力、熱、光、電性能優(yōu)異,有望替代硅成為下一代核心半導(dǎo)體器件材料。
武漢工程大學(xué) 汪建華教授做《工業(yè)微波等離子技術(shù)及其應(yīng)用》報(bào)告
報(bào)告系統(tǒng)介紹了表面波、線性微波等離子體、ECR、常壓微波等離子體炬及高功率MPCVD等多種工業(yè)化微波等離子體設(shè)備的研發(fā)技術(shù),重點(diǎn)論述了自主研發(fā)的1.5kW、2.0kW、5.0kW、10kW、75kW的全系列MPCVD設(shè)備,探討了利用MPCVD技術(shù)進(jìn)行工業(yè)化生產(chǎn)時(shí)所需要解決的關(guān)鍵技術(shù)難題。
上海昌潤(rùn)極銳超硬材料有限公司高級(jí)顧問(wèn)方嘯虎做《5G時(shí)代-對(duì)超硬材料行業(yè)的展望》報(bào)告
方教授以5G發(fā)展的新時(shí)代為基礎(chǔ),介紹了國(guó)內(nèi)外發(fā)展動(dòng)態(tài)及重要性;通俗易懂的簡(jiǎn)述了概念和特點(diǎn),提出超硬材料與5G的相互關(guān)系,建立基礎(chǔ)框架與不同層次的“云”,展現(xiàn)了建立“云”迫切性。最后闡述了超硬材料發(fā)展前景與5G相關(guān)性的若干問(wèn)題。
中電十二所李莉莉高級(jí)工程師做《超薄金剛石在THz真空電子器件中的應(yīng)用》報(bào)告
報(bào)告主要講述采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法沉積超博復(fù)合多層金剛石膜,將微加工工藝引入太赫茲小尺寸窗片的金屬化封接,攻克關(guān)鍵技術(shù),成功研制出可工程化應(yīng)用的高可靠太赫茲行波管輸能窗。該研究成果填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,實(shí)現(xiàn)了太赫茲窗的國(guó)產(chǎn)化。
中國(guó)有色桂林礦產(chǎn)地質(zhì)研究院有限公司教授級(jí)高工、中國(guó)材料研究學(xué)會(huì)超硬材料專委會(huì)主任委員呂智做《超硬材料行業(yè)中若干問(wèn)題探討》報(bào)告
報(bào)告從行業(yè)的角度對(duì)超硬材料的發(fā)展提出①中國(guó)超硬材料在全球的定位-大國(guó)與強(qiáng)國(guó);②行業(yè)今后幾年重點(diǎn)發(fā)展的領(lǐng)域:金剛石深度加工、超硬材料精密加工應(yīng)用、功能金剛石的產(chǎn)業(yè)化;③大尺寸金剛石應(yīng)用場(chǎng)景的細(xì)分與拓展;④金剛石在半導(dǎo)體加工中的應(yīng)用;⑤5G對(duì)行業(yè)的推動(dòng)作用等幾個(gè)熱點(diǎn)問(wèn)題供探討與思考。
北京科技大學(xué)魏俊俊副教授做《高品質(zhì)CVD金剛石膜制備及其熱學(xué)應(yīng)用》
魏俊俊副教授重點(diǎn)介紹北京科技大學(xué)在高品質(zhì)熱學(xué)級(jí)金剛石膜制備 及在大功率半導(dǎo)體激光器、射頻、微波器件等應(yīng)用研究方面的工作進(jìn)展,并對(duì)相關(guān)工作進(jìn)行展望。
北京國(guó)瑞升科技股份有限公司董事長(zhǎng)葛丙恒博士做《爆炸合成金剛石及其應(yīng)用》報(bào)告
葛丙恒博士首先介紹了爆炸合成金剛石的方法,隨后講解不同的爆轟方法制得的金剛石在晶粒尺寸、顏色、形貌、性能等方面的差異,最后詳細(xì)闡述多晶金剛石在精密研磨拋光領(lǐng)域的應(yīng)用。
華僑大學(xué)陸靜教授做《金剛石襯底的磨拋加工技術(shù)》報(bào)告
報(bào)告從金剛石表面超精密磨拋技術(shù)出發(fā),結(jié)合金剛石的材料本征屬性,構(gòu)建機(jī)械化學(xué)磨拋加工原理,發(fā)現(xiàn)機(jī)械誘導(dǎo)的活性磨粒反應(yīng)去除是實(shí)現(xiàn)金剛石高效加工的有效途徑。
集美大學(xué)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院副教授、上海化合積電半導(dǎo)體科技有限公司寬禁帶半導(dǎo)體材料顧問(wèn) 周昌杰做《晶園級(jí)金剛石材料的制備及其超精密加工》報(bào)告
通過(guò)深入分析金剛石的拋光去除機(jī)理,進(jìn)而精細(xì)調(diào)控金剛石材料的去除尺度,以實(shí)現(xiàn)金剛石的高效超精密無(wú)損傷加工,尤其是運(yùn)用不同組合的工藝路線以適應(yīng)不同產(chǎn)品的質(zhì)量要求。
廣東工業(yè)大學(xué)副校長(zhǎng)王成勇教授(胡小月博士代講)做《金剛石加工技術(shù)在熱管理中的應(yīng)用》報(bào)告
胡小月博士詳細(xì)闡述了幾種CVD金剛石膜拋光工藝,超快激光加工金剛石精密微納米結(jié)構(gòu)工藝及其在熱管理中的應(yīng)用的最新研究成果。所制備的陶瓷基金剛石復(fù)合材料的熱導(dǎo)率大大提高,結(jié)合了皮秒和飛秒激光加工技術(shù),可實(shí)現(xiàn)金剛石精密微納結(jié)構(gòu)的高質(zhì)量、高精度加工、在高效熱管理領(lǐng)域有著較好的應(yīng)用前景。
西安電子科技大學(xué)教授張金鳳(在線)做《金剛石超寬禁帶半導(dǎo)體電子學(xué)研究》報(bào)告
張金鳳教授首先介紹金剛石在微波功率場(chǎng)效應(yīng)晶體管及輻照探測(cè)器等領(lǐng)域的最新研究進(jìn)展,緊接著匯報(bào)西安電子科技大學(xué)在金剛石外延MPCVD設(shè)備、高質(zhì)量大尺寸金剛石材料外延、高性能金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管等領(lǐng)域取得的重要進(jìn)展。
大會(huì)現(xiàn)場(chǎng)
頒發(fā)榮譽(yù)證書
根據(jù)大會(huì)議程,明天將舉行“金剛石創(chuàng)新應(yīng)用”專題論壇和培育鉆石專題論壇,共同探討金剛石在生物醫(yī)學(xué)、量子科技、珠寶首飾等領(lǐng)域的技術(shù)難度、探索后疫情時(shí)代金剛石應(yīng)用前景。