1、CMP拋光墊是實(shí)現(xiàn)平坦化拋光的核心要件之一
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)CMP拋光墊行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)分析與未來投資預(yù)測(cè)報(bào)告(2024-2031年)》顯示,在晶圓進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光過程中,CMP拋光墊的作用主要有:存儲(chǔ)CMP拋光液及輸送 CMP 拋光液至拋光區(qū)域,使拋光持續(xù)均勻的進(jìn)行,之后去除所需的機(jī)械負(fù)荷,并將拋光過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品(氧化產(chǎn)物、拋光碎屑等)帶出拋光區(qū)域,形成一定厚度的CMP拋光液層,為拋光過程中化學(xué)反應(yīng)和機(jī)械去除提供場(chǎng)所。CMP拋光墊通過影響拋光液的流動(dòng)和分布,決定拋光效率和表面平坦性,對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓平坦化至關(guān)重要。
2、CMP材料需求量大幅提升,我國(guó)CMP拋光墊市場(chǎng)規(guī)模逐年上升
受益于3D NAND及先進(jìn)制程工藝快速發(fā)展,CMP材料需求量大幅提升,推動(dòng)CMP拋光墊市場(chǎng)規(guī)模逐年上升。根據(jù)數(shù)據(jù)顯示,2021年全球拋光墊市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到11.3億美元,同比增長(zhǎng)10.78%,2016-2021年CARG為11.69%。同期,中國(guó)拋光墊市場(chǎng)規(guī)模也在持續(xù)增長(zhǎng),2016-2021年市場(chǎng)規(guī)模由8.1億元提升至13.1億元,并且隨著國(guó)內(nèi)晶圓廠持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)擴(kuò)建,需求增速明顯高于全球平均增速水平。
3、CMP拋光墊具有較高壁壘,陶氏杜邦一家獨(dú)大
拋光墊具有較高的技術(shù)、人才和專利壁壘,開發(fā)需要結(jié)合有機(jī)、高分子、才來科學(xué)、粉體技術(shù)、精密加工等學(xué)科,技術(shù)難度高。目前,我國(guó)拋光墊專利集中于應(yīng)用領(lǐng)域,側(cè)重研究如何改進(jìn)拋光墊溝槽設(shè)計(jì)以及改善拋光方法和拋光效果,在拋光墊的制作方法及材料方面專利很少。
拋光墊產(chǎn)品大致分為硬墊和軟墊兩種,硬墊不同的技術(shù)節(jié)點(diǎn)對(duì)于拋光墊的變化較小,所以龍頭公司容易保持產(chǎn)品的一致性與穩(wěn)定性。目前,全球CMP拋光墊市場(chǎng)杜邦公司市占率高達(dá)79%,行業(yè)呈現(xiàn)一家獨(dú)大的格局。
4、鼎龍股份實(shí)現(xiàn)拋光墊領(lǐng)域突破,國(guó)產(chǎn)企業(yè)破繭而出
不過,鼎龍股份攻堅(jiān)克難,成為國(guó)內(nèi)唯一一家全面掌握拋光墊全流程核心研發(fā)和制造技術(shù)的CMP拋光墊國(guó)產(chǎn)供應(yīng)商,實(shí)現(xiàn)中國(guó)拋光墊領(lǐng)域從零到一的突破,國(guó)產(chǎn)企業(yè)破繭而出。