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浙企攻破“卡脖子”技術(shù)斬獲首張CMP拋光液訂單

關(guān)鍵詞 CMP拋光液|2024-12-03 11:05:30|來(lái)源 浙江日?qǐng)?bào)
摘要 早上9時(shí)左右,敲開寧波潤(rùn)平電子材料有限公司董事長(zhǎng)惠宏業(yè)的辦公室時(shí),他正接起當(dāng)天的第5個(gè)電話。電話接二連三,有催訂單的,也有談業(yè)務(wù)、匯報(bào)生產(chǎn)進(jìn)度的。“抱歉,最近忙得起飛!”惠宏業(yè)好不...

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        早上9時(shí)左右,敲開寧波潤(rùn)平電子材料有限公司董事長(zhǎng)惠宏業(yè)的辦公室時(shí),他正接起當(dāng)天的第5個(gè)電話。電話接二連三,有催訂單的,也有談業(yè)務(wù)、匯報(bào)生產(chǎn)進(jìn)度的。

        “抱歉,最近忙得起飛!”惠宏業(yè)好不容易放下發(fā)燙的手機(jī)。對(duì)“潤(rùn)平電子”來(lái)說(shuō),2024年的最后一個(gè)季度極其關(guān)鍵:首張CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)拋光液大訂單投產(chǎn)趕制,新的CMP拋光液訂單正加班加點(diǎn)“面試”……

        CMP拋光液,就是給半導(dǎo)體芯片表面拋光的化學(xué)液體。

        芯片制造是個(gè)細(xì)活,要在指甲蓋大小的地方容納上百億個(gè)晶體管。這就要求這塊芯片能達(dá)到納米級(jí)的平整度,此時(shí)就需用拋光液去“打磨”。

        一根頭發(fā)絲直徑約為0.1毫米,一納米相當(dāng)于一根頭發(fā)絲的十萬(wàn)分之一。那么納米級(jí)的平整度究竟有多難?惠宏業(yè)打了個(gè)形象的比方,若按同比例放大,以寧波到新疆的高速公路來(lái)比擬,相當(dāng)于要求3000千米長(zhǎng)的高速公路路面起伏高度差不能超過1毫米。

        “越平整,最終芯片性能越強(qiáng)?!被莺陿I(yè)曾是國(guó)外一家芯片材料巨頭的高管,鉆研CMP產(chǎn)品技術(shù)多年。他很清楚,拋光液是發(fā)展高端芯片產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵一環(huán),市場(chǎng)長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷,而隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)高度細(xì)分化,中國(guó)要在芯片版圖占得一席之地,拋光液是“必爭(zhēng)之地”。

        2017年,惠宏業(yè)放棄國(guó)外高薪工作,“加盟”江豐電子CMP事業(yè)部。2021年底,他創(chuàng)辦“潤(rùn)平電子”,全力研發(fā)CMP拋光材料。

        當(dāng)時(shí),惠宏業(yè)算過一筆經(jīng)濟(jì)賬:全球半導(dǎo)體芯片拋光材料市場(chǎng)產(chǎn)值約為270億元,其中拋光液占了近一半。中國(guó)每年對(duì)拋光液的需求量折合產(chǎn)值為50億元,但國(guó)產(chǎn)拋光液市場(chǎng)占有量只有10%,其余都依賴進(jìn)口。

        “市場(chǎng)空間大,但這一行‘新人’要搶市場(chǎng),太難太難!”惠宏業(yè)連說(shuō)了兩個(gè)“太難”。

        在行業(yè)內(nèi)摸爬滾打27年,卻把“新人”兩字掛在嘴邊,沒等我深究緣由,惠宏業(yè)看了一眼時(shí)鐘,一臉歉意地說(shuō):“馬上要去車間盯進(jìn)度,要不我們邊走邊聊?”

        說(shuō)話間,惠宏業(yè)腳底生風(fēng),我小跑幾步追了上去。來(lái)到工廠車間,走過一排排高速運(yùn)作的設(shè)備,龐然大物般的巨型機(jī)器里,機(jī)械手正以毫米級(jí)的精度快速撒料、攪拌……緊張、忙碌感撲面而來(lái)。“8月1日,第一批拋光液就從這里下線;現(xiàn)在,4條生產(chǎn)線馬力全開,正全力趕制訂單!”惠宏業(yè)說(shuō)。

        而惠宏業(yè)最掛心的還是實(shí)驗(yàn)室,他笑著說(shuō):“那里‘系’著我們的新訂單呢!”

        一邁進(jìn)實(shí)驗(yàn)室,惠宏業(yè)就如連珠炮般發(fā)問:“選擇比達(dá)標(biāo)了嗎?缺陷率有沒有降下來(lái)?拋光速率接近了嗎?”

        這會(huì)兒,研發(fā)人員正埋頭向一個(gè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備添加各種“藥液”,攪拌后,再灌裝到一個(gè)個(gè)30多厘米高的白色桶里,實(shí)驗(yàn)室一角,幾十桶新調(diào)制出來(lái)的拋光液堆得滿滿當(dāng)當(dāng)?!斑@些都要送到用戶公司測(cè)試,不同用戶企業(yè)、不同產(chǎn)品,需要的拋光液也不同。

        可以說(shuō),配方和流程就是我們企業(yè)的核心競(jìng)爭(zhēng)力?!毖邪l(fā)科科長(zhǎng)萬(wàn)旭軍說(shuō)。但這個(gè)“匹配”的過程漫長(zhǎng)、繁瑣,投入極大,有時(shí)候一筆訂單光測(cè)試配方就要花一年時(shí)間。

        從萬(wàn)旭軍滿布紅血絲的眼睛,我可以清晰地感知“首單”背后“沖鋒”的艱辛。

        沖刺首單,“萬(wàn)旭軍”們最初遇到的是“技術(shù)題”。拋光液里需加入很多納米級(jí)的顆粒,用于研磨芯片表面,如何讓這些顆粒大小均勻、沒有雜質(zhì),這是個(gè)大難題。而小顆粒又很容易“抱團(tuán)”成大顆粒,劃傷芯片表面,這又需要合適的分散劑助力……“整個(gè)研發(fā)過程至少經(jīng)歷了上千次實(shí)驗(yàn),從拋光顆粒到最終產(chǎn)品,目前我們完成了全鏈路100%自主生產(chǎn),三年間,企業(yè)已累計(jì)申請(qǐng)專利105項(xiàng)?!比f(wàn)旭軍自豪地說(shuō)。

        攻克了“卡脖子”技術(shù),市場(chǎng)又是另一道考題。惠宏業(yè)常用“保守”兩字來(lái)形容半導(dǎo)體芯片企業(yè),“不輕易換合作方,因?yàn)樵囧e(cuò)成本太高,像生產(chǎn)一片300毫米直徑晶圓芯片,平均需要一到三個(gè)月,成本高昂,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出差錯(cuò),就會(huì)全部報(bào)廢,所以‘新人’很難打入市場(chǎng)?!?/p>

        惠宏業(yè)的解釋,解答了剛才留給我的困惑。他說(shuō),前三年,“小樣”是一桶一桶往用戶企業(yè)送,測(cè)試、調(diào)整、再測(cè)試,終于通過層層考驗(yàn),拿下第一單。

        “首單斬獲,就像拿到了一張市場(chǎng)‘暢通證’,很快就有四五家企業(yè)拋來(lái)橄欖枝。四季度,我們要全力沖擊這些新訂單!”惠宏業(yè)信心滿滿。

        信心背后,惠宏業(yè)已然“鋪開”全新的發(fā)展版圖:新廠房加緊施工建設(shè),融資談判緊鑼密鼓,出口審批手續(xù)也已啟動(dòng)……

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