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磁性陰極濺射比普通陰極濺射具有以下優(yōu)點(diǎn)

關(guān)鍵詞 磁控濺射|2011-06-28 16:03:16|基礎(chǔ)知識(shí)|來源 中國(guó)磨料磨具網(wǎng)
摘要 1.成膜速率提高(電離率高,放電電流大)。2.基體溫升降低。3.磁控濺射的空間局限于靶與基體之間,粒子到達(dá)基體的準(zhǔn)確度高,不需要的部位沒有。因此真空容器容易清洗,操作方便。4.膜層...
  1. 成膜速率提高(電離率高,放電電流大)。
  2. 基體溫升降低。
  3. 磁控濺射的空間局限于靶與基體之間,粒子到達(dá)基體的準(zhǔn)確度高,不需要的部位沒有。因此真空容器容易清洗,操作方便。
  4. 膜層致密,并且與基體結(jié)合力強(qiáng)。這是因?yàn)榇趴貫R射產(chǎn)生的靶原子的能量高。

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