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上海潤平電子申請低硬度研磨墊及其制備方法專利,降低研磨墊硬度減少晶圓拋光缺陷

關鍵詞 專利|2025-05-16 14:19:28|來源 金融界
摘要 金融界2025年5月12日消息,國家知識產權局信息顯示,上海潤平電子材料有限公司申請一項名為“一種低硬度研磨墊及其制備方法”的專利,公開號CN119952607A,申請日期為202...

       金融界 2025 年 5 月 12 日消息,國家知識產權局信息顯示,上海潤平電子材料有限公司申請一項名為“一種低硬度研磨墊及其制備方法”的專利,公開號 CN119952607A,申請日期為 2025 年 3 月。

       專利摘要顯示,本發明提供了一種低硬度研磨墊及其制備方法,所述的制備方法包括:提供基材層、熱熔粘結層與上墊層;對所述基材層進行預處理,得到邵氏硬度<50SHA 的緩沖層,隨后在所述緩沖層表面貼合熱熔粘結層,并進行一次熱壓;在所述熱熔粘結層表面貼合上墊層,并進行二次熱壓,隨后對所述上墊層進行窗口制作形成至少一個窗口,再進行切槽處理形成若干個溝槽;提供感應粘合層,將所述感應粘合層貼合在緩沖層遠離熱熔粘結層的一側表面,并進行三次熱壓,得到低硬度研磨墊。本發明降低了研磨墊的硬度,進而減少了晶圓拋光過程中表面劃傷或缺陷。

       天眼查資料顯示,上海潤平電子材料有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業為主的企業。企業注冊資本1234.97萬人民幣。通過天眼查大數據分析,上海潤平電子材料有限公司共對外投資了6家企業,財產線索方面有商標信息11條,專利信息24條,此外企業還擁有行政許可2個。

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