石英玻璃是常用的光學(xué)材料，具有極低的熱膨脹系數(shù)、出色的電絕緣性能、穩(wěn)定的化學(xué)性質(zhì)以及良好的光傳輸特性，在國(guó)防軍工、航空航天、激光通信和光學(xué)器件等先進(jìn)制造領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

       隨著各種光學(xué)應(yīng)用對(duì)高性能石英玻璃需求的增多，對(duì)其生產(chǎn)效率和服務(wù)可靠性的標(biāo)準(zhǔn)也隨之提高。加工石英玻璃的過(guò)程中容易產(chǎn)生劃痕和凹坑等表面缺陷，影響最終產(chǎn)品的性能和壽命。研磨能去除切割過(guò)程中產(chǎn)生的表面損傷。游離磨料的工藝體系成熟，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)甚至更高級(jí)別的表面質(zhì)量；但是磨料分散性差、易團(tuán)聚和加工成本高。固結(jié)磨料磨具有磨粒軌跡明確、表面平整度高、加工成本低、加工效率高以及環(huán)境友好等優(yōu)點(diǎn)，得到廣泛應(yīng)用。

       為了提高石英玻璃研磨的材料去除效率和表面質(zhì)量，采用固結(jié)聚集體復(fù)合磨料墊進(jìn)行加工。通過(guò)常溫常壓燒結(jié)法制備了粒徑為28 μm的聚集體復(fù)合磨料，分別為氧化鋁-金剛石復(fù)合磨料、金剛石-金剛石復(fù)合磨料和二氧化硅-金剛石復(fù)合磨料。然后通過(guò)紫外光固化技術(shù)，制備了3種固結(jié)聚集體復(fù)合磨料墊。為驗(yàn)證所制備磨料墊的性能，使用相同的工藝制備了3種相應(yīng)的固結(jié)單晶磨料墊，并開(kāi)展對(duì)比試驗(yàn)。

       研究結(jié)果表明，固結(jié)聚集體復(fù)合磨料墊具有更高的加工效率，最高材料去除率可以達(dá)到3.611 μm/min。研磨后，石英玻璃的表面粗糙度(R_a)顯著降低，修復(fù)了大劃痕等表面損傷。其中最低的表面粗糙度為91.564?nm。固結(jié)聚集體復(fù)合磨料墊還展現(xiàn)出優(yōu)越的摩擦磨損性能，以更好的加工能力高效加工石英玻璃。

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